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초고순도와 투광성 측면에서 탁월한 효과가 있어서
웨이퍼직접도의 대용량화와 LCD기판의 대형화에 따라 꾸준히 사용되고 있다.

우수성

초고순도의 재질적 특성을 갖고, 뛰어난 전기절연능력이 있어 팽창이 매우 적고 가스 함량도 적음.

용도

Focus Ring, 2단 Ring, belljar, Boat류, Tube류, Cap류 , Bath류
Wide Pocket, Shadow Ring, Base Plaste, Lifter, Lifter Pin, Shield Ring...etc.